Glove Box System for PC Production LIne

捲繞型含浸手套箱 ( 含純化 / 再生系統 )

手套箱3D結構圖

[ 手套箱本體 ]

(1) 手套箱洩漏率: <0.05Vol%/h

(2) 裝設送料吊車(含浸籃傳遞用)。

(3) 裝設快拆式視窗(小玻璃),方便清潔及保養。

(4) 手套( 18 個): Butyl 材質 , 厚度 0.4mm, North 廠牌。

[ 電控系統 ]

(1) 電源: 220V/60Hz,10A , 手套箱內部附 AC110V 電源插座一組

(2) 系統控制: PLC 可程式控制器搭配 7 吋中文觸控人機介面操控及顯示水氧濃度及手套箱壓力值

(3) 手套箱壓力可自由設定 , 自動定壓 (0-16mbar) 控制與腳踩加壓 / 減壓開關控制手套箱壓力 ( 含壓力計 )

[ 氣體純化 / 再生系統與氣體管線 ]

(1) 純化系統:氣體密閉回路循環除水與除氧系統 ( 雙純化器系統,A/B 二套純化系統需可控制切換使用)

(2) 手套箱氣體經純化系統處理後濃度: H 2 O<1ppm(v) , O 2 <1ppm(v)

(3) 純化器 ( 含觸媒 ) :材質為不袗 SUS 304 ,含加熱器與保溫 , 可重復再生使用 , 純化桶的實際外徑尺

寸為 直徑 500mm 高 450mm

(4) 再生控制:由 PLC 人機介面自動程式控制(水氧濃度感測全自動 / 半自動 / 手動等三種再生操控模式),

純化器再生之日期具記憶功能,可顯示於人機畫面上

(5) 再生氣體:氮氫混合氣 N 2 /H 2 mixture ( H 2 : 7 % ) or 氮氬混合氣 Ar/H 2 mixture ( H 2 : 5% )

(6) 冷卻系統:選配

(7) 純化系統循環風車:氣體循環流速 70 m 3 /h at P=60 mbar

(8) 純化系統閥件:採用 KF-40 真空用氣動閥控制

(9) 控制閥:電磁閥 3/8 ” , PLC 控制

(10) 純化系統管線:不袗 SUS316 配管 , Type KF-40 真空接頭系統

(11) 供氣配管:不袗SUS316, 3/8 ” 配管

(12) 純化循環系統洩漏率: <10 -5 mbar-l/s ( Purifier Unit And Components )

[ 氣體過濾系統 ]

手套箱內微塵過濾系統:圓型 HEPA FILTER(0.3 μ m) 循環過濾手套箱內部微塵氣體

[SOLVENT TRAP]

有機吸附器:含活性碳吸附劑 10KG, 與管線手動切換閥 KF-40 三個手動閥及抽真空及壓力平衡閥

[ 真空幫浦 ]

(1) 真空幫浦:排氣量 12m 3 /h, 兩段式油回轉真空幫浦 , 真空度 <3 x 10 -3 mbar, 附油霧捕捉器,真空幫浦

停止運轉後本身具有逆止功能

(2) 幫浦底層加裝機架,方便保養及換油 , 如下所示

 

[Feedthroughs ]

手套箱側 Feedthroughs 孔: 3 個 ( 手套箱右側 ) , KF- 40 , 如下所示

[ 傳遞箱 ]

(1) 大傳遞箱 x2 :不袗 SUS304, 內部拋光處理 , 外部粉體烤漆 ,經硬陽處理鋁門蓋 , 內部附置物滑台充油式真空表 1 個 ,

真空閥: KF-25 氣動閥 1 個 ,壓力平衡閥 3/8 ” 電磁閥 1 個大傳遞箱控制:內外門為手動操作 , 抽真空 / 壓力平衡為 PLC 自動控制

(2) 小傳遞箱 x1 :不袗 SUS 304, 充油式真空表 1 個 ,3/8 ” 抽真空 / 壓力平衡為手動控制

(3) 傳遞箱洩漏率: <10 -5 mbar-l/s

[ 水氧偵測儀 ]

(1) 微量濕度分析儀: 0-1000PPM(V) , 裝設保護隔離閥管線及氮氣 Purge 功能,及加裝一處閥門,供露點計校正用。   

(2) 微氧分析儀: 0-1000PPM(V)  

[ 手套箱自動 PURGING 系統 ]

(1) 手套箱 Purging 系統 , 可自由設定水氧濃度值 , 濃度偵測全自動啟動 Purging 手套箱

[ 手動含浸槽 ]

(1) 含浸系統結構具備 3 組即 6 槽。

(2) 含浸網籃如附圖

(3) 含浸槽電解液排出,從含浸槽加裝管線,以加壓方式排出。

(4) 含浸槽管線閥件開關操作,於手套箱外部進行作業。

(5) 含浸槽具備液位顯示裝置。

(6) 單槽真空度可達20mottr 以下

[ 真空烘箱 ]

(1) 真空烤箱 3 部,與手套箱相連接,使用真空耐熱專用材質

(2) 爐體材質 :SS41# 鋼板 , 內部不袗板 SUS316# ,前後門雙門開啟式 。

(3)內部尺寸 : W330mm*D660mm*H449mm(2 室 )。

(5) 熱風循風車 . 附變頻器。

(6) 控制採 2 段程式溫度控制器 1 套 ( 電腦 PID 程式 2x8 溫度控制器 ), SCR 矽控整流器 1 套 。

(7) 最高溫度 200℃, 使用溫度 110 ℃以內 , 電力 3P 220V20KW。

(8) 氮氣流量為 100L/min 浮子流量計 。

(9) 溫度到達計時 ( 定時器 ), 時間到達蜂鳴人為手動切電 .。

(10) 抽排氣真空幫浦一具(ULVAC-VDN-401 抽真空幫浦 5 × 10 ? 2 ) 含幫浦機架,如下樣式供參考。

( 烘箱真空管路具備有逆止功能 )

(11) 烤箱具備過熱保護裝置

(12) 烤箱加裝 預約 定時器(可由手套箱面板設定或真空烘箱本體設定)

(13) 內部分 4 層 , 底盤式抽啟設計,容量可放入 16 個圓型含浸籃。

[真空烘箱本體]

### 上列專用機之生產成品為FCI、P&G、Delta.....所有 ###

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